实习小结
进入星科金朋实习已经第六个月了,我对半导体的加工工艺有了少许了解,下面我主要介绍一下晶圆方向识别的方法。
晶圆的方向对我们的加工来说是非常重要的,因为晶圆在机器里加工就是靠它的方向来确定它的质量。下面我介绍一下晶圆的方向识别的方法。
晶片方向的识别
1、确认一下CARD上的键合图的编号和版本号与实际键合图是否一致。实际的版本号需要新于或相同于T-CARD。如果有必须使用此版本的需求,则实际的版本号必须与T-CARD相同。
如果有任何问题,,HOLD这个产品通知工程师。
2、根据BD(BONDING 图)确认WAFER方向。
3、如果BD上有标明DIE ID或DIE 1090,需要使用高倍显微镜在实际DIE上找到。
4、检查实际DIE ID和BD是否一致。
5、检查实际DIE ID位置和BD上是否一致。
6、检查实际DIE 1090位置和BD上是否一致。
7、如果BD上没有DIE ID/1090或中心也没有此类标志,就检查BONDING PAD的布局和数量。
8、如果有任何不一致,需要通知PE,对ADI的DIE ID不
同,操作员不仅需要检查BONDING PAD布局并依据T-CARD检查WAFER批次号码。如果都一致,操作员可以继续生产。
9、在确认了方向以后,操作员根据WAFER的FLAT确认角度并记录在工作日志上。
10、对于LSI产品,操作工需要是否与T-CARD和WAFER的一致,参考VQA3-00001,在WAFER MOUNT。操作员如果在WAFER上没看到,GD CODE需要HOLD。
11、操作工需要利用引线键合图确认圆片的方向,如果不能确认圆片的方向,工作前需要向工程师确认。
这就是晶圆在加工的时候注意的一些细节要求,这些都是要严格遵守的操作规范,
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