《特种加工》期末小结
第一章：了解
第二章：电火花加工
第一节：掌握电火花加工的必要条件、优缺点
1）工具电极和工件电极之间在加工时必须保持一定的间隙，一般是几个微米至数百微米
2）火花放电必须在一定绝缘性能的介质中进行
3）火花放电是瞬时的脉冲性放电
便于加工用机械加工难以加工或无法加工的材料，如淬火钢，硬质合金等。 适用于复杂表面形状工件的加工。 电极材料不必比工件硬
可进行微精细加工。0.01-0.1mm的型孔。 可加工各种成型工具和量具。 直接利用电、热能加工，便于控制
电化花加工的缺点：加工效率低 存在电极损耗 只能加工金属等导电材料
第二节：了解电火花加工机理
（1）极间介质的电离、击穿形成放电通道。
（2）介质热分解，电极材料熔化、气化、热膨胀。 （3）电极材料的抛出 （4）极间介质的消电离
第三节：重点掌握
1、极性效应
电火花加工过程中正负极都会受到电腐蚀，即使材料相同,其电腐蚀程度也不同。这种由于正负极不同而引起电腐蚀量不一样的现象，称为极性效应
电火花加工分“正极性加工” 和“负极性加工” 。 通常定义以电极为准：
“正极性加工”——工件接正极
“负极性加工”——工件接负极,也称反极性 极性效应产生的原因
正极表面受到电子的轰击，负极表面受到离子的轰击，所以两极表面分配的能量不一样，熔化、气化抛出材料的量也就不同。
由于电子和离子的质量不同，其加速时间不同。电子在很短的时间内可以到达正极表面，而离子则需要较长的时间到达负极表面 短脉冲用正极性加工，长脉冲用负极性加工 合理利用极性效应
极性效应是较为复杂的问题：不仅脉宽、脉间有影响，脉冲峰值电流、放电电压、工作液以及电极和工件材料都会有影响。
从加工角度来看：我们希望加工效率越高、电极损耗越小越好，这样问也就希望极性效应越显著越好。
要想合理利用极性效应就要根据电极和工件的材料、选择最佳的加工参数，正确地选择极性，使工件的蚀除速度高，工具损耗尽可能小
2、电参数对生产率的影响
电压脉冲宽度ti 电流脉冲宽度te 脉冲间隔t0 脉冲频率f 峰值电流ie 峰值电压ûi 极性
研究结果表明：单个脉冲能量与单个脉冲蚀除量在一定范围内成正比。总蚀除量是有效脉冲蚀除量的总和。由此，蚀除量与单个脉冲能量WM、脉冲有效率和脉冲频率f有关。
te单个脉冲能量
WMu(t)i(t)dt
0对于晶体管电源，脉冲电流可近似为矩形波，则：
eeM
qaKaWMft蚀除量
qcKcWMft
蚀除速度 qvaaKaWMf tq vccKcWMft
金属材料热学常数对电蚀量影响 热学常数：
熔点、沸点、热导率、比热容、汽化热等。直接影响单个脉冲蚀除量 通道内的热量：
除一部分由于热传导散失到电极、工件和工作液中 使局部金属材料温度升高至熔点(金属比容热) 使局部金属材料熔化（熔化热）
使熔融金属温度升高至沸点(熔融金属比容热) 使熔融金属材料气化（气化热）
使金属蒸汽变成过热蒸汽(金属蒸汽比容热)
Wˆt25i工作液对电蚀量的影响 工作液的作用：
形成火花放电通道，并在放电结束后迅速恢复间隙的绝缘状态； 对放电通道产生压缩效应； 帮助电蚀产物的抛出和排除； 对工具电极和工件的冷却作用。 工作液的好坏对电蚀量有较大的影响
一般选用粘度小、流动性好、渗透性好的煤油为工作液。
第四节：掌握RC电源特点
工作原理利用电容器充电和瞬时放电
优点：结构简单，工作可靠，成本低；小功率可获得很窄的脉冲。常用 于精加工
缺点：电能利用率低；生产率低；工艺参数不稳定
主要用于小功率的精微加工或简试电火花加工机床
了解其他电源；
晶体管脉冲电源特点： 脉冲频率高
脉冲参数容易调节 脉冲波形好
易于实现多回路和自适应控制
第五节：第六节：了解
第七节：掌握冲模加工电规准的选择 电规准的选择、转换，平动量的分配
粗加工： 高生产率和低电极损耗
优先考虑采用较宽的脉冲宽度，然后选择合适的脉冲峰值电流
精加工 电极损耗率较大 窄脉宽、小峰值电流
每次规准转换后的进给深度，应等于或稍大于上档规准形成的Rmax值的一半。
平动量的分配主要取决于被加工表面由粗变细的修光量，此外还和电极损耗、平动头原始偏心量、主轴进给运动的精度等有关。
、型腔模加工用工具电极的材料的选择
型腔模加工用工具电极 （1）电极材料的选择 铜钨合金、银钨合金 纯铜电极的优点：
1） 不容易产生电弧，在较困难的条件下也能稳定加工； 2） 精加工比石墨电极损耗小
3） 采用精微加工能达到由于Ra1.25μm的表面粗糙度
4）经锻造后还可做其它型腔加工用的电极，材料利用率高。
但纯铜电极的机械加工性能不如石墨好。 石墨电极的优点
1）机械加工成型容易，容易修正
2）电火花加工的性能也很好，在宽脉冲大电流情况下具有更小的电极损耗。
石墨电极的缺点是容易产生电弧烧伤现象，因此在加工时应配合有短路快速切断装置；精加工时电极损耗较大，表面粗糙度只能达到Ra2.5μm。对石墨电极材料的要求是颗粒小、组织细密、强度高和导电性好，最好采用等静压压制的各向同性的石墨。 1 第三章：电火花线切割
第一节：掌握电火花线切割的特点及应用范围 电火花线切割加工特点 与电火花加工的共性：
电压、电流波形与电火花加工基本相似
加工机理、生产率、表面粗糙度等工艺规律，材料可加工性与电火花加工基本相似
与电火花加工的不同：
电极采用直径较小的细丝，平均加工电流、脉冲宽度不能太大，加工工艺参数范围小，属于中、精加工，正极性加工
采用水或水基工作液，有明显的电解电流。但不会起火，易于实现无人运行。电解效应存在且有利于改善表面粗糙度。
一般没有稳定电弧放电（有相对运动）
电极与工件之间存在“疏松接触”式轻压放电现象
省掉了成形的工具电极，大大降低了成形电极的设计和制造 电极丝较细，可以加工微细异型孔、窄缝和复杂形状的工件 采用移动的长电极丝进行加工，单位长度上电极丝的损耗较低，对精度影响小（慢走丝的电极丝一次性使用，不影响精度）
线切割加工的应用范围
线切割加工适于加工各种直纹面的工件，其应用如下： 加工模具
各种形状的冲模，只需要一次编成 加工电火花成型加工用的电极 加工零件
用于试制新产品，单件小批量生产，特殊难加工材料的加工
第二节、第四节：了解
第三节、第五节：掌握3B编程技术、3B编程格式：Bx By BJ G Z x,y—直线的终点坐标或圆弧的起点坐标绝对值，单位um J—计数长度 G—计数方向 Z—加工指令
直线L（L1,L2,L3,L4）
顺圆弧SR(SR1,SR2,SR3,SR4) 逆圆弧NR(NR1,NR2,NR3,NR4) 所有坐标都是相对的 B0 B4000 B4000 GY NR4 B0 B2000
B2000 GY L2 B4000 B0 B4000 GX NR1 B2000 B0
B2000 GX L3 B0 B4000 B4000 GY NR2 B0 B2000
B2000 GY L4 B4000 B0 B4000 GX NR3 B2000 B0
B2000 GX L1
A
线切割编程是根据图样提供的数据经过分析和计算编写出现切割机床能够接受的数控程序。
自动编程：用户输入要切割的轨迹数据，经过排序、用户指定切割方向和切入点自动生成数控程序，可以生成各种格式的数控程序。其过程与手动编程差不多只不过用软件实现。
第四章：电化学加工
第一节：掌握电解质、
电解质是溶于水溶液中或在熔融状态下就能够导电的化合物
金属的钝化
应用化学或电化学方法，在金属表面形成一层薄的氧化物层，使金属腐蚀速率大大降低的过程
活化
使金属钝化膜破坏的过程称为活化
了解电化学加工的分类
分类 利用阳极金属的溶解作用去除材料； 利用金属在阴极的沉积镀覆作用进行镀覆；
电化学加工与其它加工方法相结合的复合加工方法。
第二节：掌握电解加工的优缺点、电解加工的特点
不受材料本身强度、硬度和韧性限制，可以加工淬火钢、硬质合金、不锈钢和耐热合金等高强度、高硬度和高韧性的导电材料。
(2)加工中不存在机械切削力，工件不会产生残余应力和变形，也没有飞边毛刺。 (3)可以达到0.1mm的平均加工精度和0.01mm的最高加工精度；平均表面粗糙度Ra值可达0.8μm，最小表面粗糙度Ra值可达0.1μm。 (4)加工过程中工具阴极理论上不会损耗，可长期使用。
(5)生产率较高，约为电火花加工的5～10倍，某些情况下甚至高于切削加工。 (6)能以简单的进给运动一次加工出形状复杂的型腔与型面。 (7) 1加工精度和加工稳定性不高。
2而阴极的设计、制造和修正都比较困难，阴极的精度难以保证。
3电解加工间隙的因素很多，且规律难以掌握，加工间隙的控制比较困难。
4由于阴极和夹具的设计、制造及修正困难，周期较长，因而单件小批量生产的成本
较高。
5电解加工所需的附属设备较多，占地面积较大，且机床需要足够的刚性和防腐
蚀性能，造价较高。
6与此同时，电解液易腐蚀机床和污染环境，也必须引起重视。
电解液的作用
作为导电介质传递电流；
在电场作用下进行电化学反应；
及时带走加工间隙内产生的电解产物及量、三种常用的电解液NaCl；NaNO
3、NaClO
3、钢在NaCl水溶液中电解加工的电极反应 ① 阳极反应
Fe—2e
Fe+2 Fe—3e
Fe+3
4OH-—4e
O2↑+2H2O
2CL-—2e
CL2 ↑
Fe+2+2OH-
Fe（OH）2↓ （墨绿色的絮状物 ）
沉淀为 4Fe（OH）2+2H2O+O2
4Fe（OH）3↓ （黄褐色沉淀）
阴极反应
按可能性为 2H++2e
H2↑ Na++e
Na↓
按照电极反应的基本原理，电极电位最正的粒子将首先在阴极反应。因此，在阴极上只会析出氢气，而不可能沉淀出钠。
掌握电解加工的生产率计算。 质量
m = KIt = KQ 体积
V = It = Q 式中
m 电解上析出或溶解物质的质量(g) V 电解上析出或溶解物质的质量(mm3) K 物质的质量电化学当量[g/(Ah)]
物质的体积电化学当量[mm3/(Ah)] I 电解电流(A) t 电解时间(h) 实际电解加工时，会有其它反应发生或以高价离子溶解，从而多消耗了一些电荷。所以引入电流效率
为此，实际蚀除量为： 质量
m = η KIt 体积
V = ηωIt 第三节：掌握电解磨削的原理特点
实际金属蚀除量100%理论计算蚀除量电解磨削
电解磨削顾名思义就是电解作用机床和机械磨削相结合的一种复合工艺方法。
磨削时，工件接直流电源正极，电解磨轮接直流电源的负极，车床在二者之间供给电解液。当直流电源接通时，工件表面将产生电化学反应，表层金属原子变成离子并形成阳极膜。这层膜钝化作用强，又称为钝化膜。它覆盖在工件表面，阻止电化学反应的继续进行。当工件进一步向电解磨轮靠近并接触时，电解磨轮表面凸出的磨料高速运动，将钝化膜刮除，基体金属外露，继续产生电化学反应。如此反复进行，工件材料被一层层地去除，从而达到加工的目的。工件与电解磨轮接触时，磨轮表面凸出的车床磨料使二者保持一定的间隙，机床不致发生短路，且间隙中的电解液因磨轮的高速旋转不断被更新，使得阳极溶解反应能持续进行
电解磨削具有以下特点：
(1)磨削效率高于纯机械磨削，当磨削接触面大且电源容量足够大时，效率更高。 (2)由于材料主要靠阳极溶解，因此磨轮的损耗远比机械磨削小。 (3)磨削表面粗糙度低，只。最佳值在0．01—0．05／xm。 (4)磨削时压力小，产生的热量低，不易产生变形及加工应力，适于加工对裂纹敏感的材料。 (5)磨削铁基材料时使用的电解液对设备有一定的腐蚀性，对设备应考虑一定的防护措施。 (6)由于电解液多采用NaN0，，机床加工时会产生有刺激味的气体及氢气车床等，因此防护罩上应加装抽风吸雾装置。
由于电解磨削具有上述特点，故适用于磨削高强度、高硬度、热敏性材料，如硬质合金、高速钢、耐热合金、钛合金等
第四节第五节第六节：了解
第五章：激光加工
第一节：了解激光加工的原理， 激光加工的原理
激光是一种强度高、方向性好、单色性好的相干光。由于激光的发散角小和单色性好，理论上可以聚焦到尺寸与光的波长相近的(微米甚至亚微米)小斑点上，加上它本身强度高，故可以使其焦点处的功率密度达到107～1011W/cm2，温度可达10000℃以上。在这样的高温下，任何材料都将瞬时急剧熔化和汽化，并爆炸性地高速喷射出来，同时产生方向性很强的冲击。因此，激光加工(如图1所示)是工件在光热效应下产生高温熔融和受冲击波抛出的综合过程
掌握激光加工的特点。 激光加工的特点
激光加工的特点主要有以下几个方面：
(1) 几乎对所有的金属和非金属材料都可以进行激光加工。
(2) 激光能聚焦成极小的光斑，可进行微细和精密加工，如微细窄缝和微型孔的加工。
(3) 可用反射镜将激光束送往远离激光器的隔离室或其它地点进行加工。
(4) 加工时不需用刀具，属于非接触加工，无机械加工变形。
(5) 无需加工工具和特殊环境，便于自动控制连续加工，加工效率高，加工变形和热变形小。
第二节：掌握固体激光器、气体激光器的优缺点
固体激光器主要优点;输出能量大，峰值功率高;结构紧凑耐用，价格适宜
材料种类数量多;固体激光器的主要缺点;温度效益比较严重;转换效率相对较低
气体激光器一般采用电激励，因其效率高、寿命长、连续输出功率大，所以广泛用于切割、焊接、热处理等加工。常用于材料加工的气体激光器有二氧化碳激光器、氩离子激光器等。
第六章：电子束和离子束加工
第一节：了解电子束加工特点； ⒉电子束加工的特点：
⑴加工面积很小，是一种精密微细的加工方法。 ⑵是一种非接触式加工。 ⑶加工生产率很高 ⑷整个加工过程便于实现自动化
⑸加工表面不会氧化，特别适用于加工易氧化的金属及合金材料，以及纯度要求
极高的半导体材料。
⑹价格较贵，生产应用有一定局限性。
掌握电子束加工的应用 电子束加工的应用：（1）高速打孔（2）加工型孔及特殊表面（3）刻蚀（4）焊接（5）热处理（6）电子束光刻
第二节：了解离子束加工特点； ⒊离子束加工的特点
⑴离子束加工是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是纳米加工技术的基础。
⑵污染少，特别适用于对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。 ⑶加工应力、热变形等极小，加工质量高，适合于对各种材料和低刚度零件的加工。
⑷离子束加工设备费用贵、成本高，加工效率低，应用范围受到一定限制
掌握离子束加工的分类
⑴离子刻蚀
⑵离子溅射沉积
⑶离子镀
⑷离子注入
第七章：超声波加工
掌握超声加工的特点、应用 （１）加工范围广
（２）切削力小、切削功率消耗低 （3）工件加工精度高、表面粗糙度低
（4）易于加工各种复杂形状的型孔、型腔和成型表面等 超声加工的应用
（1）型孔、型腔加工（2）切割加工（3）复合加工：超声电解复合加工、超声电火花复合加工、超声抛光及电解超声复合抛光（4）超声清洗 注：缺电解加工的生产率计算
1、电火花加工的必要条件、优缺点。 必要条件：
（1）必须使工具电极和工件被加工表面之间经常保持一定的放电间隙，这一间隙随加工条件而定，通常约为0.02-0.1mm； （2）火花放电必须是瞬时的脉冲性放电；
（3）火花放电必须在有一定绝缘性能的液体介质中进行，例如煤油、皂化液或去离子水。 主要优点：
（1）适用于任何难切削导电材料的加工； （2）可以加工特殊及复杂形状的表面和零件。 电火花加工的局限性
（1）主要用于加工金属等导电材料，但在一定条件下也可以加工半导体和非导体材料；
（2）加工速度较慢； （3）存在电极消耗。
2、极性效应：单纯由于正、负极性不同而彼此电蚀量不一样的现象叫做极性效应。
产生原因：在火花放电过程中，正、负电极表面分别受到负电子和正离子的轰击和瞬时热源的作用，在两极表面所分配到的能量不一样，因而溶化、气化抛出的电蚀量也不一样。
影响因素：脉宽、脉间、脉冲峰值电流、放电电压、工作液和电极材料
3、电参数对生产率的影响 ：提高脉冲频率f;增加单个脉冲能量Wm或者说增加平均放电电流ie和脉冲宽度ti,减小脉间t0,设法提高系数Ka、Kc。
4、RC电源特点 优点：（1）结构简单，工作可靠，成本低；
（2）在小功率时可以获得很窄的脉宽（小于0.1us）和很小的单个脉冲能量，可用作光整加工和精微加工 缺点：（1）电能利用效率很低，计算证明最大不超过36%，因大部分电能经过电阻R时转化为热能损失掉了，这在大功率加工时是很不经济的；
（2）生产效率低，因为电容的充电时间te比放电时间te长50倍以上，脉冲间隙系数太大。
（3）直流电源与放电间隙之间没有开关元件隔离，影响稳定性，此外还不能独立形成脉冲。
5、什么是电火花加工的电规准；加工时应如何选择电规准？
答：电火花加工中所选用的一组电脉冲参数称为电规准，电参数主要是指电压脉冲宽度、电流脉冲宽度、脉冲间隔、脉冲频率、峰值电流、峰值电压和极性等。在生产过程中应根据工件的要求、电极和工件的材料、加工工艺指标和经济效果等因素来确定电规准，并在加工过程中及时的转换。
6、电火花线切割的特点及应用范围。
电火花线切割加工过程的工艺和机理，与电火花穿孔成型加工既有共性，又有特性。
1)电火花线切割加工与电火花成型加工的共性表现
（1）线切割加工的电压、电流波形与电火花加工的基本相似。单个脉冲也有多种形式的放电状态，如开路、正常火花放电、短路等。
（2）线切割加工的加工机理、生产率、表面粗糙度等工艺规律，材料的可加工性等也都与电火花加工的基本相似，可以加工硬质合金等一切导电材料。 2）线切割加工相比于电火花加工的不同特点
（1）由于电极工具是较小的细丝，故脉冲宽度、平均电流等不能太大，加工工艺参数的范围较小，属中、精正极性电火花加工，工件常接脉冲电源正极。 （2）采用水或水基工作液，不会引燃起火，容易实现安全无人运转，但由于工作液的电阻率远比煤油小，因而在开路状态下，仍有明显的电解电流。 （3）一般没有稳定电弧放电状态。
（4）电极与工件之间存在着“疏松接触”式轻压放电现象。
（5）省掉了成型的的工具电极，大大降低了成型工具电极的设计和制造费用，用简单的工具电极，靠数控技术实现复杂的切割轨迹，缩短了生产准备时间，加工周期短，这不光对新产品的试制很有意义，对大批生产也增加了快速性和柔性。 （6）电极丝比较细，可以加工微细异形孔、窄缝和复杂形状的工件。
（7）由于采用移动的长电极丝进行加工，使单位长度的电极丝损耗较小，特别在低速走丝切割加工时，电极丝一次性使用，电极丝损耗对加工精度的影响更小。
7、电解质：凡溶于水后能导电的物质叫做电解质；电解质与水形成的溶液称为电解质溶液，简称电解液。
8、金属的钝化：金属阳极溶解过程的超电位升高，使电解速度减慢。
9、金属的活化：使金属钝化膜破坏的过程称为活化。
10、电解加工的优缺点 优点：（1）加工范围广，不受金属材料本身力学性能的限制，可以加工硬质合金、淬火钢、不锈钢、耐热合金等高硬度、高强度及韧性金属材料，并可加工叶片、锻模等各种复杂型面。
（2）电解加工的生产效率高，约为电火花加工的5-10倍，在某些情况下，比切削加工的生产效率还高，且加工生产率不直接受加工精度和表面粗糙度的限制。 （3）可以达到较好的表面粗糙度（Ra1.25-0.2um）和正负0.1mm左右的平均加工精度。
（4）由于加工过程中不存在机械切削力，所以不会产生由切削力所引起的残余应力和变形，没有飞边毛刺。
（5）加工过程中阴极工具在理论上不会损耗，可长期使用。 缺点：（1）不易达到较高的加工精度和加工稳定性。
（2）电极工具的设计和修正比较麻烦，因而很难适用于单件生产。
（3）电解加工的附属设备较多，占地面积大，机床要有足够的刚性和防腐性能，造价较高。对电解加工而言，一次性投资较大。
（4）电解产物需要进行妥善处理，否则将污染环境。
11、电解液的作用
（1）作为导电电介质传递电流；
（2）在电场作用下进行电化学反应，使阳极溶解能顺利而有控制的进行； （3）及时地把加工间隙产生内产生的电解产物及热量带走，起更新与冷却作用。 三种常用的电解液：NaCl、NaNO
3、NaClO3.
12、电解磨削的原理特点 原理：电解磨削是由电解作用和机械磨削作用相结合而进行加工的，比电解加工的加工精度高，表面粗糙度小，比机械磨削的生产率高。 特点：（1）加工范围广，加工效率高； （2）可以提高加工精度及表面质量； （3）砂轮的磨损量小。 与机械磨削相比，电解磨削的不足之处是：加工刀具等的刃口不易磨得非常锋利；机床、家具等需要采取防蚀防锈措施；还需要增加吸气、排气装置，以及需要直流电源、电解液过滤、循环装置等附属设备。
13、激光加工的特点
特性：强度高、单色性好、相干性好、方向性好 特点：（1）聚焦后，激光加工的功率密度可高达10的八次方-10的十次方W/cm2,光能转化为热能，几乎可以溶化、气化任何材料。
（2）激光光斑大小可以聚焦到微米级，输出功率可以调节，因此可用以精密微细加工。
（3）加工所用工具是激光束，是非接触加工，所以没有明显的机械力，没有工具损耗问题。
（4）和电子束加工等比较起来，激光加工装置比较简单，不要求复杂的抽真空装置。
（5）激光加工是一种瞬时、局部溶化、气化的热加工，影响因素很多，因此，精微加工时，精度，尤其是重复精度和表面粗糙度不易保证，必须进行反复试验，寻找合理的参数，才能达到一定的加工要求。
（6）加工中产生的金属气体及火星等飞溅物，要注意通风抽走，操作者应戴防护眼镜。
14、固体激光器、气体激光器的优缺点 固体激光器一般采用光激励，能量转化环节多，光的激励能量大部分转化为热能，所以效率低。为了避免固体介质过热，固体激光器通常采用脉冲工作方式，并用合适的冷却装置，较少采用连续工作方式。由于晶体缺陷和温度引起的光学不均匀性，固体激光器不易获得单模而倾向于多模输出。
气体激光器一般采用电激励，因其效率高、寿命长、连续输出功率大，所以广泛用于切割、焊接、热处理等加工。常用于材料加工的气体激光器有二氧化碳激光器、氩离子激光器等。
15、电子束加工的应用：（1）高速打孔（2）加工型孔及特殊表面（3）刻蚀（4）焊接（5）热处理（6）电子束光刻
16、离子束加工的分类：离子刻蚀、离子溅射沉积、离子镀、离子注入
17、超声加工的特点
（1）适合于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，例如玻璃、陶瓷、石英、锗、硅、玛瑙、宝石、金刚石等。对于导电的硬质金属材料如淬火钢、硬质合金等，也能进行加工，但加工生产率较低。
（2）由于工具可用较软的材料，做成叫复杂的形状，故不需要使工具和工件作比较复杂的相对运动，因此超声加工机床的结构比较简单，只需一个方向轻压进给，操作、维修方便。
（3）由于去除加工材料是靠极小磨料瞬时局部的撞击作用，故工件表面的宏观切削力很小，切削应力、切削热很小，不会引起变形和烧伤，表面粗糙度也较好，可达Ra1-0.1um，加工精度可达0.01-0.01mm,而且可以加工薄壁、窄缝、低刚度零件。
18、超声加工的应用
（1）型孔、型腔加工（2）切割加工（3）复合加工：超声电解复合加工、超声电火花复合加工、超声抛光及电解超声复合抛光（4）超声清洗 注：缺电解加工的生产率计算
